所屬系列：ZJYQ-GPNPXPS-THERMO
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Thermo Scientific Nexsa G2 X 射線光電子能譜儀(XPS)系統(tǒng)可進行全自動、高通量的表面分析，提供用于推進研發(fā)或解決生產(chǎn)問題的數(shù)據(jù)。 集成 XPS 與離子散射譜(ISS)、紫外光電子能譜 (UPS)、反射電子能量損失譜(REELS)和拉曼光譜，讓您進行真正的聯(lián)用分析。該系統(tǒng)現(xiàn)包含樣品加熱和樣品加偏壓功能選項，拓寬可進行的實驗范圍。Nexsa G2 表面分析系統(tǒng)發(fā)掘了材料科學(xué)、微電子、納米技術(shù)開發(fā)和許多其他應(yīng)用領(lǐng)域的潛力。
X射線光電子能譜儀(XPS)Nexsa G2主要特點：
高性能 X 射線源
全新的低功率 X 射線單色器，允許以 5μm為間隔、選擇10μm 到 400μm 之間的分析面積，確保從感興趣的特征區(qū)域收集數(shù)據(jù)，同時使信號更大化。
優(yōu)的電子光學(xué)系統(tǒng)
高·效的電子透鏡、半球形分析器和檢測器使其具有超強的檢測能力和快速的數(shù)據(jù)采集能力。
樣品視圖
使用Nexsa XPS 的光學(xué)觀察系統(tǒng)和 SnapMap 功能聚焦樣品特征區(qū)域，有助于快速定位感興趣的區(qū)域。
絕緣樣品分析
雙束中和源：既能出射低能離子，又能出射低能電子(小于1 eV)。在測試中能夠?qū)悠?，特別是絕緣樣品，進行很好的中和，令數(shù)據(jù)分析簡單而可靠。
深度剖析
利用標準離子源或 MAGCIS（可選的雙模式單原子和氣體團簇離子源）獲取表面之下的信息；離子源的自動校準和氣體團簇的處理確保了較佳的性能和實驗的可重復(fù)性。
可選樣品臺
提供可選的各種特殊樣品臺，用于變角 XPS、樣品加偏壓測試或從手套箱惰性轉(zhuǎn)移樣品。
數(shù)碼控制
儀器控制、數(shù)據(jù)處理和報告均由基于 Windows 的 Avantage 數(shù)據(jù)系統(tǒng)控制。
NX 樣品加熱器模塊
全軟件控制的樣品加熱功能選項，支持溫度相關(guān)研究。
X射線光電子能譜儀(XPS)Nexsa G2規(guī)格：
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分析器類型 |
180° 雙聚焦半球形分析器，128 通道探測器 |
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X 射線源類型 |
單色化、微聚焦、低功率的 Al K-Alpha X 射線源 |
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X 射線光斑尺寸 |
10-400 μm（以 5μm 為單位可調(diào)） |
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深度剖析 |
EX06 單原子離子源或 MAGCIS 雙模式離子源 |
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樣品最大面積 |
60 x 60 mm |
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樣品最大厚度 |
20 mm |
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真空系統(tǒng) |
兩個渦輪分子泵，配有自動鈦升華泵和前級泵 |
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可選配件 |
UPS、ISS、REELS、iXR 拉曼光譜儀、MAGCIS、樣品傾斜模塊、NX 樣品加熱模塊、樣品加偏壓模塊、真空轉(zhuǎn)移模塊、手套箱集成適配器 |
