奧林巴斯紅外顯微鏡BX53M IR產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
電子設(shè)備在當(dāng)今現(xiàn)代科技中已非常普遍。每個(gè)人很有可能已經(jīng)在使用電子設(shè)備時(shí)，間接遇到并使用了硅晶圓。
晶圓是一種薄的半導(dǎo)體材料基材，用于制造電子集成電路。半導(dǎo)體材料種類多樣，電子器件中常用的一種半導(dǎo)體材料是硅 (Si)。硅晶圓是集成電路中的關(guān)鍵部分。它由高純度、幾乎無缺陷的單晶硅棒經(jīng)過切片制成，用作制造晶圓內(nèi)和晶圓表面上微電子器件的基板。硅晶圓會(huì)積累在生長(zhǎng)、切割、研磨、蝕刻、拋光過程中的殘余應(yīng)力。因此，硅晶圓在整個(gè)制造過程中可能產(chǎn)生裂紋，如果裂紋未被檢測(cè)到，那些含有裂紋的晶圓就在后續(xù)生產(chǎn)階段中產(chǎn)生無用的產(chǎn)品。裂紋也可能在將集成電路分割成單獨(dú) IC 時(shí)產(chǎn)生。因此，若要降低制造成本，在進(jìn)一步的加工前，檢查原材料基材的雜質(zhì)，裂紋以及在加工過程中檢測(cè)缺陷非常重要。
奧林巴斯紅外顯微鏡
近紅外一般定義為700-1600nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的光線，由于硅傳感器的上限約為1100nm，砷化銦鎵（InGaAs）傳感器是在近紅外中使用的主要傳感器，可覆蓋典型的近紅外頻帶。大量使用可見光難以或無法實(shí)施的應(yīng)用可通過近紅外成像完成。當(dāng)使用近紅外成像時(shí)，水蒸氣、霧和硅等特定材料均為透明，因此紅外顯微檢測(cè)被應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的各個(gè)方面。
奧林巴斯紅外顯微鏡
配置IR專用物鏡可用于透過硅材料成像，進(jìn)行半導(dǎo)體檢查和測(cè)量。配備的5X到100X紅外（IR）物鏡，提供了從可見光波長(zhǎng)到近紅外的像差校正。對(duì)于高放大倍率的物鏡，配備了LCPLNIR系列帶校正環(huán)的物鏡，校正由樣品厚度導(dǎo)致的像差，使用一個(gè)物鏡即可獲取清晰的圖像。
奧林巴斯紅外顯微鏡BX53M IR參考規(guī)格：
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光學(xué)系統(tǒng)
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UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正）
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主要裝置
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顯微鏡機(jī)身
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BX53MRF-S
（反射）
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焦點(diǎn)
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沖程：25mm
每一圈的精細(xì)沖程：100μm
Z小刻度：1μm
帶上限位器，粗手柄扭矩調(diào)整
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Z大標(biāo)本高度
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反射：65mm（不帶墊片），105mm（帶BX3M-ARMAD）
反射/透射：35mm（不帶墊片），75mm（帶BX3M-ARMAD）
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觀察鏡筒
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寬視野（F.N.22）
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U-TR30IR
倒置：IR三目鏡筒
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照明
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反射光
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IR觀察
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BX3M-RLA-S
100W鹵素?zé)簦m用于IR、BF/IR、AS（帶定心機(jī)械裝置）
U-LH100IR（包括12V 10W HAL-L）
100W鹵素?zé)艄庠?，適用于IR
TH4-100
100W電源
TH4-HS
手控開關(guān)
U-RMT
延長(zhǎng)線
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物鏡轉(zhuǎn)盤
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U-5RE-2
用于BF：五元件
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目鏡（F.N.22）
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WHN10X
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WHN10X-H
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濾光片/偏光鏡/分析儀
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U-BP1100IR/U-BP1200IR
適用于IR的帶通濾光片
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U-AN360IR
適用于IR的可旋轉(zhuǎn)分析儀滑塊
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電源線纜
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UYCP（x2）
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重量
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約18.9kg（顯微鏡機(jī)身7.4kg）
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物鏡
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IR套裝
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LMPLN5XIR、10XIR、LCPLN20XIR、50XIR、100XIR
IR觀察
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載物臺(tái)（X x Y）
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76mm x 52mm套裝
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U-SVRM、U-MSSP
同軸左手柄載物臺(tái)/76（X）× 52（Y）mm，帶扭矩調(diào)整
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100mm x 100mm套裝
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U-SIC4R2、U-MSSP4
大號(hào)同軸左手柄載物臺(tái)/100（X）x 100（Y）mm，Y軸帶鎖定機(jī)械裝置
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100mm x 100（G）mm套裝
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U-SIC4R2、U-MSSPG
大號(hào)同軸右手柄載物臺(tái)/150（X）x 100（Y）mm，Y軸帶鎖定機(jī)械裝置（玻璃板）
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150 mm x 100 mm套裝
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U-SIC64、U-SHG、U-SP64
大號(hào)同軸右手柄載物臺(tái)/150（X）x 100（Y）mm，帶扭矩調(diào)整，Y軸帶鎖定機(jī)械裝置
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150 mm x 100（G）mm套裝
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U-SIC64、U-SHG、U-SPG64
大號(hào)同軸右手柄載物臺(tái)/150（X）x 100（Y）mm，帶扭矩調(diào)整，Y軸帶鎖定機(jī)械裝置（玻璃板）
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選配
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MIX觀察套裝*
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BX3M-CB、BX3M-HS、U-MIXR-2、U-MIXRCBL
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DIC*
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U-DICR
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中間鏡筒
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U-CA、U-EPA2、U-TRU
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濾光片
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U-25ND6、U-25ND25、U-25LBD、U-25LBA、U-25Y48、U-AN360-3、U-AN360P、U-PO3、U-POTP3、U-25IF550、U-25L42、U-25、U-25FR
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聚光鏡濾光片
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43IF550-W45、U-POT
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載物臺(tái)板
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U-WHP64、BH2-WHR43、BH2-WHR54、BH2-WHR65、U-WHP2
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樣品托架
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U-HRD-4、U-HLD-4、U-HRDT-4、U-HLDT-4
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手柄橡膠
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U-SHG、U-SHGT
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