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離子束顯微鏡ORION NanoFab

所屬系列:ZJYQ-GYXWIM-ZEISS

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產(chǎn)品描述
Orion NanoFab 擁有納米加工和成像引擎 - 配有集成軟、硬件的控制系統(tǒng)。納米圖形發(fā)生器(NPVE)為每個(gè) NanoFab 鏡筒提供了一臺(tái) 16 位掃描圖形發(fā)生器,以及支持實(shí)時(shí)圖案加工和成像的雙信號(hào)采集硬件。通過圖形化用戶界面(GUI)完全控制離子束:可創(chuàng)建一系列可編輯的形狀,如矩形、梯形、多邊線、直線、折線、橢圓及點(diǎn)。然后,對(duì)這些形狀進(jìn)行矢量切割,并通過劑量和加工參數(shù)的調(diào)節(jié)進(jìn)行完全的過程控制。
離子束顯微鏡ORION NanoFab特點(diǎn):
快速亞 10 nm 結(jié)構(gòu)加工
使用氖和氦離子束加工有高精度要求的精細(xì)亞 10 納米結(jié)構(gòu)。無論是使用濺射、氣體輔助切割、氣體輔助沉積或是光刻技術(shù)刻蝕材料,在亞 10nm 加工應(yīng)用中 ORION NanoFab 均表現(xiàn)不凡。
集三種離子束顯微技術(shù)于一體
使用鎵聚焦離子束刻蝕大塊材料。利用精準(zhǔn)的氖離子束快速完成微加工,利用氦離子束加工精細(xì)的亞 10 納米級(jí)結(jié)構(gòu)。利用氦和氖離子還可以防止傳統(tǒng) FIB 鎵粒子注入引起的基體材料性質(zhì)變化。
高分辨率成像
借助 0.5 納米成像分辨率,它可在同一臺(tái)加工儀器中實(shí)現(xiàn)樣品的高分辨率成像。與使用場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)成像相比,其可獲得 5 至 10 倍的景深并和更豐富的圖像細(xì)節(jié)。

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